




应用
目标应用包括:
负载锁
计量
传输腔
灰化/剥离
pvd
主要特性和优势
占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一,epx ---节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧,增加了安装 选项。epx 可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和 安装成本,gxs160真空泵维修---,如果需要也可远程使用。
受保护的泵机构 - epx 可以从---压抽空到 uhv 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。
超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑,汕尾gxs160真空泵维修,这可能成为制程 工具中污染源。epx 泵没有高真空轴承油脂,并且不存在 任何其他的潜在污染源。
非常--- - epx 具有大约 13 年的 mtbfp (semi e10),通常 每 5 年维修一次,地延长了泵的 使用寿命。
运转时的噪声低至 56 db(a),gxs160真空泵维修厂家在哪,可在洁净室内实现低噪声。
爱德华真空泵相对其他单级选片式真空泵具有更高的精度,同时结构相对来讲比较复杂,所以我们在爱德华真空泵维修时需要制作精度较高的工具来对泵浦进行拆卸、安装,下面就其轴承的检修与装配跟大家交流下。
拆卸轴承应使用工具,安装时不得用锤直接敲击轴承,需敲击时必须垫以软金属。
装配轴承时,应先检查轴承、配合尺寸偏差等是否符合要求。
轴承内圈端面应与轴肩靠紧
轴承采用加热安装时,加热可采用油浴,油温不超过100-120度,gxs160真空泵维修公司,轴承油浴时间10-15min,严禁用火焰直接加热轴承
适合清洁/干燥应用的 edwards rv 泵的主要优点
的模式选择器开关意味着泵可在高流速下保持润滑
配备可选的油回收套件,可---在高流量下,油保持在泵内
的防反吸保护可避免油雾回流到制程中
通过油压来控制打开状态,从而---波动
在泵由于倾泄阀而停止运行的 0.4 秒内快速关闭
获得的模式选择器意味着该泵在高真空应用和高吞吐量应用中都适用。对于后一种应用,可以安装一个可选的油回收套件,以便让泵在高吞吐量下连续运转而不会将所有油排到排气管中。
氧化剂
不正规的维修方法在应急的情况下是可以的,但不可长期使用,必须从---上查出故障原因,采取正规的维修方法排除故障。因此,在故障分析时,从故障现象入手,结合机械设备的工作原理和结构,通过检测设备或者用传统的故障判断方法,终来确定故障发生的原因和部位,切忌“不问青红皂白,盲目大拆大卸”。分析出故障以后,就需要我们维修人员采取正确有效的方法
目前真空泵配件市场上产品与精度参差不齐,有些客户为了降低成本,利用不合时宜的材料配件替代,长期运行对泵浦性能---不利,因此在更换配件前,配件需要经过技术检查,---新配件符合要求,其引起不---的麻烦
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