爱德华真空泵是属于油封旋片式机械真空泵， 日常维护检查的内容为观察泵油颜色， 查看油位，爱发科真空泵维修厂， 检查进、出气口的过滤器。真空泵的常见故障是漏油、不能达到---真空度和不能启动。判定故障后， 维修方法是更换老化的密封部件， 添加和更换新油、清洗油路、更换老化的配油器、旋片和弹簧， 更换损坏的电源器件和电机线圈等。后给出真空泵的性能改造位置和方法。
适合“多尘”应用的 edwards rv 泵的主要优点
的防反吸保护可避免灰尘回流到制程中
通过油压来控制打开状态，从而---波动
在泵由于倾泄阀而停止运行的 0.4 秒内快速关闭
大直径油路 (3-5mm) 可避免堵塞
一些竞争---的泵的油路直径不足 1mm
edwards 的 rv 泵系列利用半导体行业的 pvd 和 cvd 应用经验而设计，适用于多尘应用。
清洁/干燥
特性和优点
该泵设计合理，可进行---的长期运行
热过载设备可防止过热（仅用于单相型号）
传动由一个单相或三相（四极）电机通过活动联结器提供
电机是全封闭的，河源爱发科真空泵维修，通过电机冷却风扇进行冷却
通过全高度 o 形圈密封的油品目视镜可方便地检查油位和相关情况
大尺寸目视镜和宽的工作油范围
泵系列
e2m40
e2m40fx
e2m40t4
e2m80
e2m80fx
e2m80t4
e2m175
e2m175fx
e2m175t3
e2m275
e2m275t3
e2m175 与 e2m275
应用
目标应用包括：
负载锁
计量
传输腔
灰化/剥离
pvd
主要特性和优势
占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，epx ---节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。epx 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。
受保护的泵机构 - epx 可以从---压抽空到 uhv 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。
超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。epx 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。
非常--- - epx 具有大约 13 年的 mtbfp (semi e10)，通常 每 5 年维修一次，地延长了泵的 使用寿命。
运转时的噪声低至 56 db(a)，可在洁净室内实现低噪声。
爱发科真空泵维修报价-东欧真空-河源爱发科真空泵维修由东莞东欧真空设备有限公司提供。东莞东欧真空设备有限公司是从事“真空机电设备及零配件,电子材料,仪器,润滑油”的企业，公司秉承“诚信经营，用心服务”的理念，为您提供---的产品和服务。欢迎来电咨询！联系人：饶钦辉。
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