真空泵维修选-东欧真空-梅州真空泵维修

应用

目标应用包括：

负载锁

计量

传输腔

灰化/剥离

pvd

主要特性和优势

占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，sc60d真空泵维修，epx ---节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。epx 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。  

受保护的泵机构 - epx 可以从---压抽空到 uhv 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。  

超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，真空泵维修选，这可能成为制程 工具中污染源。epx 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。  

非常--- - epx 具有大约 13 年的 mtbfp (semi e10)，通常 每 5 年维修一次，梅州真空泵维修，地延长了泵的 使用寿命。

运转时的噪声低至 56 db(a)，可在洁净室内实现低噪声。

安静运转：

工作环境---

：

在一系列 实验室和工业应用中得到验证

独立式 装置和紧凑式设计：

使用灵活性

气镇 阀：

高的蒸汽处理 能力

e2m0.7 与 e2m1.5

e2m0.7 和 e2m1.5 泵是双级直接传动滑片泵 该泵采用油封技术，能够长期---地运行。该泵为独立式装置。传动由完全封闭的风扇冷却单相电机通过 oldham 联轴器提供。该泵非常适合科学应用（例如前级涡轮分子泵）以及一般实验室应用。

应用

分析仪器

---检漏仪

研发

前级涡轮分子泵