普旭真空泵维修-东欧真空设备有限公司

em18 与 em 28

em 系列的油封旋转泵（因其限真空、高抽取速度、运行噪音小以及能够处理蒸汽而享有盛誉）已成为实验室和轻工业应用的行业标准。该泵是自由放置的装置，普旭真空泵维修，其传动由一个单相或三相（四极）电机通过活动联结器提供。

泵系列

e1/e2m18

e1/e2m18 atex

pfpe e1/e2m18

e2m28

pfpe e2m28

应用

分析仪器

---检漏仪

研发

前级涡轮分子泵

汽车

射束线和高能物理

速离心机

镀膜

应用

目标应用包括：

负载锁

计量

传输腔

灰化/剥离

pvd

主要特性和优势

占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，epx ---节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，清远普旭真空泵维修，增加了安装 选项。epx 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。  

受保护的泵机构 - epx 可以从---压抽空到 uhv 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。  

超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。epx 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。  

非常--- - epx 具有大约 13 年的 mtbfp (semi e10)，通常 每 5 年维修一次，地延长了泵的 使用寿命。

运转时的噪声低至 56 db(a)，可在洁净室内实现低噪声。