




后来没有办法爱德华真空泵维修了肯定是不能用了,就只好送到我们公司进行回收,尽量将损失减到yi。所以说找爱德华真空泵维修厂家就要找的,随意选择+贪图便宜只会让自己吃亏。
功能与优势
优化了设施消耗
无需预防性维护
悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理
在节功率的同时提高了工作繁重的 cvd 应用条件下的稳定性
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的
轴杆一体化设计无需电机联轴器,第五抽排级免除对的需求,也避免了颗粒堆积,sc5d真空泵维修,两者均减少了总体占地空间
泵系列
em 系列大中型旋转式叶片油封式真空泵
em 系列泵是结实---的机械油封泵,抽速为 0.7 到 275 m3/hr(30 到 206 cfm)。这些泵结构紧凑,使用时非常安静,具备---的润滑回路,茂名真空泵维修,---性高,真空泵维修公司,配有各种附件,可以满足特定的应用需求。
e2m40 与 e2m80
edwards e2m 系列双级油封旋转叶片真空泵因其限真空、高抽取速度、运行噪音小以及能够处理水蒸汽而享有盛誉。这些直接传动旋转式叶片泵设计紧凑且无振动,配备防伤手风扇和联轴器壳体,真空泵维修实惠,可为操作人员提供的保护。
epx 180真空干泵
epx 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用,如灰化/剥离和注入端点 站应用。
epx 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能,可实现异常清洁的真空。epx 泵 采用已获的单轴再生 holweck? 分级机构, 能够从---压抽空到小于 7 x 10-7torr 的---压力。
epx 泵能够以模块化组件 提供增强的性能,既可集成到制程工具,又可以远程 安装。此外,通过集成的 microtim 电子模块还可以与制程工具 轻松建立接。
泵系列
epx180l、le、n、ne
epx180 twinl、le、n、ne
epx500l、le、n、ne
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