




应用
目标应用包括:
负载锁
计量
传输腔
灰化/剥离
pvd
主要特性和优势
占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一,epx ---节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧,增加了安装 选项。epx 可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和 安装成本,爱发科真空泵维修多少钱,如果需要也可远程使用。
受保护的泵机构 - epx 可以从---压抽空到 uhv 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。
超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑,这可能成为制程 工具中污染源。epx 泵没有高真空轴承油脂,并且不存在 任何其他的潜在污染源。
非常--- - epx 具有大约 13 年的 mtbfp (semi e10),爱发科真空泵维修厂家在哪,通常 每 5 年维修一次,地延长了泵的 使用寿命。
运转时的噪声低至 56 db(a),可在洁净室内实现低噪声。
真空泵维修为主要的注意点我们需要知道,在当流量计浮子没起来时,说明冷却水管被堵塞,这时将水管快接头用压缩空气吹入管道,观察浮子是否被吹起来,正常情况下浮子应该在上端,尤其在机台的报警温度在1200c,报警功率在3500w,停机功率在5000w,要注意真空泵当时的运行状况叶轮由于长时间的锈蚀和冲蚀,广州爱发科真空泵维修,而且材质为铸铁,比较脆,容易碎裂,碎裂后对泵体造成---的磨损,---的甚至造成泵的报废,影响生产。
应用
冶金
镀膜
干燥
太阳能
真空腔抽空
主要特性和优势
资金 成本低,维护要求,由此其拥有成本也
减少 用户---次数
降低 易耗品成本
无 需除油
不 会向---中排放废油
抽取速度 非常稳定,为制程带来可重复性
---压 下持续泵送
能够 处理微粒
干式 操作消除了反流,从而使反应合金免受污染。
不易察觉的 噪声级
无 难看的油溅
无 危险油蒸汽
为增加真空泵的使用期和没有问题上班时间,需对爱得华旋片真空泵开展日常查验维护保养,维护保养次数可以根据检修工作经验开展适时调整。1,查验泵油油位泵启动前,先要从油标查验油位是不是由此可见并且在“min”刻线之上,仅有做到这里,真空泵才可以正常运行。此外,启动新泵或真空泵有十分一段时间并没有运行中,爱发科真空泵维修,还应当在泵启动后查验油位是不是轻微降低(3~5mm),这一降低说明泵有带油启动。如果发现油位没有在工作中刻线范围之内时,需及时加油至工作中刻线范围之内。2,观查泵油颜色应经常在油标内观查泵油颜色,油理应清澈透亮,呈焦黄色,倘若发觉泵油掉色或者出现混浊,理应定期更换泵油,不然会危害真空泵的使用期和真空包装实际效果,使用爱得华泵油。泄油时---让泵运作15min,使泵油变暖,以利于泵油排出。
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