




epx 180真空干泵
epx 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用,如灰化/剥离和注入端点 站应用。
epx 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能,可实现异常清洁的真空。epx 泵 采用已获的单轴再生 holweck? 分级机构,whv7000真空泵维修厂家, 能够从---压抽空到小于 7 x 10-7torr 的---压力。
epx 泵能够以模块化组件 提供增强的性能,既可集成到制程工具,又可以远程 安装。此外,通过集成的 microtim 电子模块还可以与制程工具 轻松建立接。
泵系列
epx180l、le、n、ne
epx180 twinl、le、n、ne
epx500l、le、n、ne
真空泵维修为主要的注意点我们需要知道,在当流量计浮子没起来时,说明冷却水管被堵塞,这时将水管快接头用压缩空气吹入管道,观察浮子是否被吹起来,正常情况下浮子应该在上端,whv7000真空泵维修哪里有,尤其在机台的报警温度在1200c,报警功率在3500w,停机功率在5000w,要注意真空泵当时的运行状况叶轮由于长时间的锈蚀和冲蚀,而且材质为铸铁,比较脆,容易碎裂,碎裂后对泵体造成---的磨损,---的甚至造成泵的报废,影响生产。
应用
冶金
镀膜
干燥
太阳能
真空腔抽空
主要特性和优势
资金 成本低,维护要求,由此其拥有成本也
减少 用户---次数
降低 易耗品成本
无 需除油
不 会向---中排放废油
抽取速度 非常稳定,为制程带来可重复性
---压 下持续泵送
能够 处理微粒
干式 操作消除了反流,从而使反应合金免受污染。
不易察觉的 噪声级
无 难看的油溅
无 危险油蒸汽
平时真空泵在工作前工作中及工作结束注意事项基本上跟常规真空泵维修保养一样的了。保持关注真空泵的工作状态,珠海whv7000真空泵维修,维修一定要及时、迅速,这样真空泵的正常运行才能得到---。
进口真空泵系列产品,在泵行业的维修项目中对于厂家在日常检查中需要进行针对性的维修类的检查和维护,whv7000真空泵维修公司,主要的日常检查项目有检查运行的正常情况以及、真空泵背压值、报警信息察看、手阀状态、机械结构的正常与否、特气管路、管路联接以及有无漏水,这都是需要我们在日常维护检查的时候进行检查,这也是针对这款维修泵维修前的准备事项。
实践证明,edwards 半导体真空泵能够达到运行标准。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的---性和性能。
ih 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 pecvd 和 lpcvd 制程)提供了高---性。
ih80
ih160
ih600
ih1000
ih1800
ih1800htx
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