e2175真空泵维修-东欧真空设备公司

爱德华真空泵维修：真空容积

检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。真空泵工作2000小时后应进行检修，爱德华真空泵维修的方法。检查橡胶密封件老化程度，检查排气阀片是否开裂，清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个真空泵腔内的零件，如转子、旋片、弹簧等。一般用清洗，并烘干。对橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放小心碰伤。

爱德华真空泵是属于油封旋片式机械真空泵，e2175真空泵维修哪里有， 日常维护检查的内容为观察泵油颜色， 查看油位， 检查进、出气口的过滤器。判定故障后， 维修方法是更换老化的密封部件， 添加和更换新油、清洗油路、更换老化的配油器、旋片和弹簧，e2175真空泵维修， 更换损坏的电源器件和电机线圈等。后给出真空泵的性能改造位置和方法。

应用

目标应用包括：

负载锁

计量

传输腔

灰化/剥离

pvd

主要特性和优势

占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，epx ---节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。epx 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。  

受保护的泵机构 - epx 可以从---压抽空到 uhv 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。  

超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。epx 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。  

非常--- - epx 具有大约 13 年的 mtbfp (semi e10)，通常 每 5 年维修一次，地延长了泵的 使用寿命。

运转时的噪声低至 56 db(a)，可在洁净室内实现低噪声。