




扩散泵油的性质对扩散泵的抽气性能影响---大,因而对扩散泵油的基本要求是:
1)泵油的分子量要大;
2)为了降低泵的---压力,要求泵油在常温下得饱和蒸汽压要低;
3)为了使泵能在较高的出口压力下工作,要求泵油在沸腾温度下得饱和蒸汽压应尽可能大;
4)泵油的热稳定性(高温下不易分解)和抗l氧化性能(与---接触时不会因氧化改变泵油的性能)要好;凝固点和低温黏度要低;而且还要无l毒、耐腐蚀、成本低。
真空泵油的饱和蒸汽压:饱和蒸汽压是真空泵油较关键的指标之一。在恒温的密闭容器中,当汽液两相到达动态均衡时的压力称谓饱和蒸汽压。
泵油对---压力的影响
泵油的种类和成分对泵的---压力影响很大,在结构相同的扩散泵中,如果使用3号扩散泵油,其---压力只能达到10-5帕;而改用275号硅油,其---压力能达到10-7帕,---压力可降低两个数量级。
真空系统中被抽气体的分压力也随泵油的不同而变化,这就是泵油成分所带来的影响。例如,油扩散泵抽气系统中不加特殊措施很难获得较清洁的真空。
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